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金属膜片联轴器膜片厚度仅 0.15mm，经激光焊接成型，可补偿轴向 ±1.5mm、角向 ±1° 的微小偏差，适用于半导体制造设备

极低温柔韧性优异的特种硅橡胶VMQ O型圈，可在-100°C以下环境保持密封性能

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硅橡胶密封圈胶垫植入分布式光纤传感网络，可实时绘制密封面温度与应力分布云图，精度达 0.1℃与 0.01MPa

IP67防护等级防水防尘电磁阀线圈及接线盒，可承受短暂浸泡，适用于潮湿或冲洗环境